渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。
渦輪分(fen)子(zi)泵(beng)的優點是啟動快，能(neng)(neng)抗各種射(she)線(xian)的照射(she)，耐大氣(qi)沖擊(ji)，無氣(qi)體存(cun)儲(chu)和解(jie)吸效(xiao)應(ying)，無油蒸(zheng)氣(qi)污染(ran)(ran)或污染(ran)(ran)很少，能(neng)(neng)獲得清潔的超高真空(kong)。渦輪分(fen)子(zi)泵(beng)廣泛用于(yu)高能(neng)(neng)加(jia)速器(qi)、可控熱(re)核反應(ying)裝置、重粒(li)子(zi)加(jia)速器(qi)以及真空(kong)鍍膜等需要獲得高真空(kong)度制造(zao)工藝中(zhong)。

渦輪分(fen)子泵的工作原理(li)，結構型式及其優缺點(dian)。

為了利用渦(wo)輪分子泵，獲(huo)(huo)得(de)清(qing)潔(jie)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，國外多利用干(gan)式機(ji)(ji)械(xie)泵作其前級泵，構成(cheng)無油(you)的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統。然而，目前國內(nei)渦(wo)輪分子泵多以油(you)封機(ji)(ji)械(xie)泵為其前級泵，構成(cheng)了有油(you)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統，如果操作不當，很難(nan)避免油(you)蒸汽返(fan)流，對真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統的污染(ran)。利用有油(you)系(xi)統獲(huo)(huo)得(de)清(qing)潔(jie)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，國內(nei)外都有一些(xie)有效防止返(fan)流的措施和(he)成(cheng)功的操作經驗。

應用：當今，現代化的半導體行業中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質譜檢漏儀等也經常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著的改進和發展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

分子泵常見的故障問題：

1、分子泵為何會發生半(ban)邊熱，半(ban)邊冷(leng)的現象(xiang)？

2、分子泵(beng)使用中(zhong)發現油發黑(hei)(hei)，請問油為什么(me)發黑(hei)(hei)？或者多長時間油才會變黑(hei)(hei)？

3、分子泵在(zai)運轉過程中，出現頻(pin)率(lv)(lv)從正(zheng)常(chang)下降至一定頻(pin)率(lv)(lv)后(hou)又恢復(fu)到正(zheng)常(chang)，之(zhi)后(hou)又下降至一定頻(pin)率(lv)(lv)，再恢復(fu)到正(zheng)常(chang)，反(fan)反(fan)復(fu)復(fu)，更換電源(yuan)后(hou)現象仍如此，請問該現象如何解釋？

4、分子泵軸承為什(shen)么(me)會燒毀

5、有防(fang)護網保護，為什么還會有大塊碎玻璃(li)掉入泵(beng)內(nei)？

6、真空度很(hen)好的情(qing)況(kuang)下，分(fen)子泵油(you)為(wei)何(he)會返到前級(ji)管道？

7、正常(chang)使用(yong)下，為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形？

8、分(fen)子泵中經常掉出(chu)頂絲、鏍釘等物(wu)體，如M5的頂絲等，請(qing)問是否(fou)對分(fen)子泵的使用(yong)有影響？應如何解決？

9、膠圈口分子泵要用(yong)(yong)多(duo)少卡(ka)鉗(qian)，使用(yong)(yong)才安全？

10、變頻器電源在什么情況下(xia)會造成程(cheng)序(xu)丟失(shi)或者錯亂？

11、分子泵(beng)噪音大如何界(jie)定？是(shi)否(fou)有(you)合(he)格標(biao)準(zhun)，是(shi)多(duo)少？

12、分子泵是否對(dui)(dui)冷(leng)卻有(you)明(ming)確要(yao)求？如(ru)風冷(leng)需要(yao)外界溫度(du)是多少？如(ru)水(shui)冷(leng)則對(dui)(dui)水(shui)有(you)何具體要(yao)求？如(ru)未達到(dao)要(yao)求會(hui)出現何后果？

13、分子泵電源存在(zai)接地、屏蔽等問(wen)題，應如何(he)做才是最(zui)佳(jia)方式？

14、變頻器電源，轉速上升過程中就自動關機(ji)，即顯示(shi)“Poff”？

15、分子泵葉片破(po)碎(sui)的原(yuan)因？

譜標科技始終重視客戶服務，以過硬的專業技術為立身根本。譜標科技專注實驗室常用色譜、質譜、光譜等分析設備，組建和培養了一批有能力覆蓋市場主流品牌廠家產品的專業維護維保隊伍，其(qi)中不乏來自主流進口品牌的多年(nian)資深工程師，對硬件、軟件、應用方(fang)法等非常(chang)熟悉，具(ju)備遠程研判情況、常(chang)規預防性維(wei)護、常(chang)見故障判斷排除、疑難(nan)問(wen)題梳(shu)理解決等能力，是(shi)您值得(de)信賴和(he)托付的實驗室合作伙(huo)伴。

維護保養：零部件精修服務
譜標零部件精修服務為您提供：
1）關鍵零部件精修，如泵，電路板等關鍵部件的維修，均含有質保，節省成本；
2）關鍵零部件平價替(ti)代，均含有(you)質(zhi)保。

短、中、長期綜合維保服務

1、不限次數上門服務    
2、故障診斷    
3、技術支持    
4、儀器備件優先享用    
5、保修服務可以季度、年度、2-5年度靈活服務    
6、三個(ge)等級：全(quan)包、半(ban)包、經(jing)濟型（免工(gong)時(shi)費僅預(yu)防(fang)性維(wei)保）    

具體價格需(xu)由您提(ti)供實驗室需(xu)要保修的儀器設備(bei)清單綜合估價。請詳(xiang)詢譜標區域分公司或辦事處。